高純氣路美國世偉洛克

提供半導體、微電子方面的超高純氣體輸送全面解決方案

高純輸送系統規劃與設計

設備及材料采購

高純輸送系統工程現場安裝施工

高純輸送系統測試、認證

系統調試和啟動

  普通氣體以及各種大宗氣體（氮、氧、氬、氦、氫、壓縮空氣）的輸送系統工藝設計氣站、特氣氣體房、純化器房、氣體品質監測系統、氣體控制系統、高純設備（純化器、壓力控制器、過濾器）、超高純氣體輸送管道系統的概念及詳細設計，制造與現場安裝， 測試及開車調試

各種電子特種氣體輸送系統工藝設計

特氣房、氣瓶柜/架、分氣箱/盤，閥組、特氣管線（主管、二次配管）、氣體偵測系統等

   真空設備至工藝設備的管道規劃和連接.